经浙江省技术创新中心评估和浙江省经济和信息化厅审核，以本中心为依托单位的浙江省真空装备产业技术联盟运行情况好，绩效优秀。参加考核评估的联盟共97个，其中优秀23个，良好21个，合格53个。

浙江省真空装备产业技术联盟于2018年获浙江省经济和信息化厅审批通过成立。三年来，联盟依托高校学科科研优势，联合共建企业的产业优势，组织前沿关键核心技术攻关和推广应用，加强国内企业合作，多次开展真空学术交流活动，构建自主创新、安全可控的真空产业生态链，推动高端真空装备制造领域的发展。